Jörg Hohage

Schwerpunkt ist die Entwicklung von PECVD-Schichten - in integrierten Schaltkreisen u. Solarzellen - in der Mikrosystemtechnik - zur Verschleißminderung - zur Vergütung von Gläsern Durchgeführte Arbeiten als selbständiger Ingenieur: - Beratung zu PECVD-Prozessproblemen - Erstellung Überblick CVD-Verfahren für diamantähnliche Schichten - Entwicklung PECVD-Prozesse zur Vergütung von Display-Gläsern (2D u. 3D) Qualifikation zum zertifizierten Sicherheitsbeauftragten Medizinprodukte (03/2016)

Vorbereitung auf Selbständigkeit und Unternehmensgründung

• Verantwortlich für PECVD-Prozesse: Etch Stop-, ARC- u. Passivierungsschichten • Entw. von high-Stress-Schichten für Steigerung Transistorperformance (Patente erstellt) • Entw. von Cu-Deckschicht-Interfaces von hoher Zuverlässigkeit (Patente erst., 2 Paper) • Anwendung statist. Methoden (DOE, SPC) • Leitung KVP-Projekte Steigerung Anlagenproduktivität • Mitarbeit an Forschungsprojekten inkl. Dokumentation • Schulung Mitarbeiter in Prozesstechnologie

• Entwicklung und Optimierung PECVD-Prozesse: Etch Stop-, ARC-Schichten, HDP STI-Fill • Cu-Deckschicht-Interfaces von hoher Zuverlässigkeit • KVP Projekte zur Kostenreduktion CVD Prozessierung • Optimierung optische Schichtdickenmessung, Pflege der Messrezepte • 06-2004: Beförderung zum Senior Prozessingenieur • 01-2007: Beförderung zum MTS Prozessingenieur

• erste 9 Monate: Training und Mitarbeit an Standorten in den USA (Mikroprozessorfertigung in Austin/TX und Entwicklung in Sunnyvale/CA) • Identifizierung technisch-technologischer Probleme im Produktionsablauf im Bereich Thin Films • Behebung der im Produktionsbetrieb auftretenden technischen Probleme mit dem Ziel, die Entwicklungs- und Produktionsziele einzuhalten • Mitarbeit bei Tool-Evaluationen für die Ramp-Phase der hochzufahrenden Fab in Dresden

Doktorand in der Arbeitsgruppe Nanometer-Schichttechnologie Entwicklung Beschichtungsprozess zur Herstellung von diamantähnlichen, kubischen Bornitrid-schichten mittels gepulster Laserstrahlung (PLD): "Synthese von Bornitridschichten mittels PLD-Verfahren"

Physiklehrer in der Abschlussklasse der Mittelstufe, verantwortlich für Unterricht und Vorbereitung der überwiegend volljährigen Schüler auf die Physikabschlussprüfung

Mitarbeiter im Bereich Materialforschung: • Optimierung von LPCVD-Verfahren zur Abscheidung dünner Si-Schichten für Dünnschichtsolarzellen • Optisches Schmelzen dünner Si-Schichten • Abscheidung von GaInP2-Schichten und Aufbau eines Gasdetektorsystems zur Erhöhung der Anlagensicherheit

Medizintechnik (Beatmungsverfahren, Geräte zur Kreislaufunterstützung, Inkubatoren, Monitoring); Gesetzlicher Rahmen für Medizintechnik und des Gesundheitswesens; Informatik (Grundlagen u. Einsatz in der Medizin); Statistik; Zertifikat 03/2016: Sicherheitsbeauftragter Medizinprodukte (Note: 1,7)

Werkstoffwissenschaft, Oberflächentechnik, Bruchmechanik. 03/2004: Verteidigung Doktorarbeit und Prüfung (Materialwissenschaft, Oberflächentechnik). Note: sehr gut (magna cum laude)

Doktorarbeit auf dem Gebiet diamantähnlicher Schichten: „Synthese von Bornitridschichten mittels PLD-Verfahren“

Werkstoffphysik; Herstellung u. Charakterisierung dünner, dotierter Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen